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用沟道ＲＢＳ方法研究了中子辐照ＧａＡｓ的缺陷在快速退火过程中的恢复行为。结果表明，在１０＾１４￣１０＾１７／ｃｍ＾２范围内离位原子浓度近似按辐照剂量量级的平方关系增长，中子辐照效应对φ１／２没有影响。
中子辐照GaAs的沟道卢瑟福背散射研究
【摘 要】
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用沟道ＲＢＳ方法研究了中子辐照ＧａＡｓ的缺陷在快速退火过程中的恢复行为。结果表明，在１０＾１４￣１０＾１７／ｃｍ＾２范围内离位原子浓度近似按辐照剂量量级的平方关系增长，中子辐照效应对φ１／２没有影响。
【机 构】
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北京科技大学材料物理系,中国科学院物理研究所,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1998年9期
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