用于砷化镓单片集成的肖特基势垒

来源 :微电子学 | 被引量 : 1次 | 上传用户:sjn19900523
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文阐述了用于GaAs单片集成的Ti—Au系肖特基势垒的有关特性。指出了实现既要有1微米栅长的几何图形,又要有良好电学特性的肖特基势垒的制作条件。采用栅区深腐蚀法和盐酸浸泡法,改善了肖特基势垒特性。针对高温下结退化问题,测量了Ti—Au势垒的正向特性随温度变化的数据,分析了势垒劣化的机理。提出了减小势垒退化应采取的制作方法。
其他文献
童话内容浅显易懂,很适合小学生阅读。童话最大的特征就是含有丰富的想象和夸张的手法,简单的故事中常常蕴含着深刻的道理,给学生带来了无穷的想象与难忘的启迪。教材把童话作为教学的重要内容,在中年级编入了较多篇目,因此我们要充分利用这些教学资源,引导学生徜徉在童话故事营造的氛围中,感悟童话所散发的独特魅力,汲取其中的丰富营养。笔者在教学实践中对如何教童话进行了一系列的探究活动,现以《一个豆荚里的五粒豆》(
期刊
这是一本研究体育环境生态文化传播理论及实践的专著,是上海体育学院"085"工程的组成项目(上海体育学院体育文化系列丛书)。作者在研究过程中,根据各篇目的需要,分别采取了"以概念带论点"(一至四章)、"以环境分析带论点"(五章)和实证机制分析(六至十章)等多种论述方式,并穿插了一部分个案研究(如对上海普陀苏州河龙舟赛民俗体育生态体育文化发展的案例研究)、学术引用和场景描绘,试图从多角度真实地为大家展
期刊
1984年10月7日,座落在北京西郊玉泉路的中国科学院高能物理研究所(简称高能所),彩旗飘舞,锣鼓喧天,热闹非常。中国高能物理学家们盼望已久的大型科学研究装置——"北京正负电子对撞机"开工兴建。上午10点,邓小平等党和国家领导人来到工地为工程培土奠基。奠基典礼上,邓小平与到场的中外来宾合影后,微笑着走到一位儒雅的学者面前,与之亲切交谈。这位学者置身于这样的喜庆氛围,憧憬着几年后中国自己拥有的高能物
期刊
【教学目标】1.学会本课生字新词。2.阅读时能积极思考,养成提问的习惯,能针对课文部分内容和全文提出自己的问题。3.能借助问题读懂故事,并感受第五粒豆带给女孩生命的勇气和希望。【教学过程】一、导读单元首页,明确学习任务1.阅读单元首页。(出示单元首页)同学们,这是我们四年级上册第二单元的单元首页,了解一下这一单元我们的学习任务。这儿有一句话,“为学患无疑,疑则有进”,谁来读一读?
期刊
目的 对比分析乳腺癌手术后予以患者三维适形放疗和调强放疗的效果。方法 该次研究对象为方便选取2018年1月—2021年11月在该院实施术后放疗的乳腺癌患者64例,随机分两组,各32例。对照组予以三维适形放疗,研究组予以调强放疗,对比和分析两组患者肺受量、靶区剂量、不良反应等情况。结果 与对照组对比,研究组V50(0.90±0.26)%、V40(3.21±0.45)%、V30(10.63±1.05)
近年来,我国各区域均进入城镇化高速发展时期,城镇地区基础设施进一步完善,产业结构趋于成熟,但在城镇发展的同时也面临国土空间规划不合理、利用无序以及环境问题日益突出等问题,以上所提及的为题均会对我国的城镇发展来带滞后的影响。在此背景下,我国提出走新型城镇化道路,加强生态文明建设,城镇地区开始进入转型发展阶段。在城镇转型时期,为合理规划国土空间布局,提升国土空间利用质量,必须在国土空间规划方面作出有效
创作是油画艺术作品形成的必要历程,创作的方式、方法、内容尤为重要。油画作为舶来品,在中国呈现出"民族化""中国化"的趋势。中华民族神话是中华传统文化的重要组成部分,具有意蕴深远的民族本土文化内涵。本文将两者进行调和与并置,探讨其共融机制。
学位