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硅微电子器件是现代信息技术的重要基础，近３０年来，硅芯片集成度和性能以指数规律持续发展。单元器件微小型化和不断革新的与完善的微细加工技术是硅芯片迅速进步的主要关键和途径。硅芯片正向千兆元件高集成度和千兆赫高速度发展。在研究，开发，生产和应用密切结合的基础上，硅芯片在２０００年前后将继续迅速进步。