聚酰亚胺薄膜表面微纳米尺度下电荷特性的研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：superlhl2010

【摘要】

：

利用静电力显微镜(electrostatic force microscope,EFM)在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面的电荷起因及特性进行研究.采用Dimension 3100型扫描探针显微镜的导电探针摩擦聚

【作者】

：

赵慧斌任权韩立

【机构】

：

中国科学院电工研究所,中国科学院研究生院

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

聚酰亚胺表面电荷扫描探针显微镜静电力显微镜 polyimide surface charges SPM Electrostatic Force Micro

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用静电力显微镜(electrostatic force microscope,EFM)在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面的电荷起因及特性进行研究.采用Dimension 3100型扫描探针显微镜的导电探针摩擦聚酰亚胺薄膜表面,在薄膜微纳米区域内产生电荷分布.通过静电力显微镜对微纳米区域产生的电荷进行表征,得出探针摩擦速度、探针电压对表面电荷的极性、密度、区域分布有很大的影响.同时也为微纳米尺度下探索聚合物绝缘材料表面电荷生成规律和机理提供了一个新的研究方法和途径.

其他文献

江西留龙金矿两类矿石成因的稀土与微量元素证据

留龙金矿产于赣南震旦系上施组变沉凝灰岩中,含金毒砂石英脉和含金铅锌硫化物石英脉均沿近南北向断裂产出。前者形成于低温条件,成矿流体以大气降水为主,铅同位素组成与变沉

期刊

金矿床矿床成因稀土元素微量元素江西

退火温度对SiC薄膜结构和光学特性的影响

采用磁控溅射技术在p-Si基片上制备出SiC薄膜.将样品放在管式退火炉中通N2保护,分别在400 ℃,600 ℃,800 ℃和1 000 ℃进行退火处理,研究了退火温度对薄膜结构以及光致发光特

期刊

SIC薄膜结构磁控溅射退火温度光致发光特性SiCfilmmagnetron sputteringannealing temperatureph

CO2激光切割PCR生物芯片储液池参数的研究

针对生物芯片中广泛应用的高聚物材料,利用其对波长为10.6 μm的CO2激光具有良好的吸收性这一特点,对生物芯片储液池进行加工.根据理论分析,提出影响切割表面粗糙度的主要因

期刊

激光切割激光功率切割速度离焦量laser cuttinglaser powercutting velocityfocus shift

聚酰亚胺薄膜表面微纳米尺度下电荷特性的研究

其他学术论文