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介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置，实验范围为10^-9～10^-1Pa，实验气体为N2。实验结果表明，尽管2次校准结果的重复性较好，但就单次校准结果来看，每个规的灵敏度（修正因子）的最大值和最小值之间的偏差较大。因此，极高真空电离规要得到准确的测量结果，对其进行精确校准是非常必要的。