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报道了我们制作的二维Ｄａｍｍａｎｎ光栅－６５×６５大点阵光栅的实验方法和研究结果，在氮化硅膜上进行光栅图形的光刻的反应离子刻蚀，成功研制出６５×６５等光强分束Ｄａｍｍａｎｎ光栅。
大点阵数二维Dammann光栅的制作与研究
【摘 要】
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报道了我们制作的二维Ｄａｍｍａｎｎ光栅－６５×６５大点阵光栅的实验方法和研究结果，在氮化硅膜上进行光栅图形的光刻的反应离子刻蚀，成功研制出６５×６５等光强分束Ｄａｍｍａｎｎ光栅。
【机 构】
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华中理工大学激光技术国家重点实验室,国防科工委预研基金
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1994年1期
【基金项目】
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八六三计划资助,国家自然科学基金
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