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全面介绍了MEMS微齿型尺蠖驱动器在国外的最新研究进展及应用，该驱动器具有大输出力和高频大功率密度的特点，是高性能精密直线驱动器的一个重要发展方向。
MEMS微齿型尺蠖驱动器的研究进展
【摘 要】
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全面介绍了MEMS微齿型尺蠖驱动器在国外的最新研究进展及应用，该驱动器具有大输出力和高频大功率密度的特点，是高性能精密直线驱动器的一个重要发展方向。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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微特电机
【发表日期】
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2008年10期
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