论文部分内容阅读
用扫描电镜（SEM）对厚度不同的多孔硅膜的微结构进行了研究。对于23um厚的多孔硅膜，其横截面微结构好似海底生长的海藻；而对于6um厚的多孔硅膜，其表面微结构则像龟壳上的裂纹。通过对在不同放大倍数情况下拍摄的多孔硅的SEM图片进行分析，结果表明多孔硅薄膜的这两种微结构都具有分形特征，而且其分形维数为2．3-2．6。利用扩散限制凝聚模型（diffusion limited aggregation）对这两种微结构的形成过程进行了模拟。