电沉积方法制备功能性金属化合物薄膜

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本文综述了电沉积方法制备具有超导、电致变色特性的金属氧化物薄膜和具有半导体特性的金属化合物薄膜的基本方法、沉积原理、薄膜性能及存在问题,并对今后的发展进行了展望。 This review summarizes the basic methods, deposition principles, thin film properties and existing problems of electrodeposition method for preparing metal oxide films with superconducting and electrochromic properties and metal compound films with semiconducting properties. The future development is also discussed.
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