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射频辉光放电等离子体聚合四丁基锡制备了非晶含锡有机膜，研究了该膜在大气中的热处理行为。表明在不同热处理温度下，发生了锡的氧化、有机物脱除、晶化和相变等过程。
非晶含锡有机膜的热处理行为
【摘 要】
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射频辉光放电等离子体聚合四丁基锡制备了非晶含锡有机膜，研究了该膜在大气中的热处理行为。表明在不同热处理温度下，发生了锡的氧化、有机物脱除、晶化和相变等过程。
【出 处】
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薄膜科学与技术
【发表日期】
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1995年4期
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