电子能谱仪的原理和结构(下)

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三、仪器的结构及主要附件一台能谱仪为了完成规定的分析任务,必须具有激发源、样品室、能量分析器和检测器这些部份,以及相应的配套系统。只是不同的能谱仪在选择激发源、分析器、检测器上有所区别。激发源主要有 X 光、紫外光和电子枪三种;分析器有磁式和静电式二种;静电式又有整球型、半球型、球扇形、园筒形以及球栅型等多种。检测器有多道平板式电子倍增器和喇叭口螺旋式槽电子倍增器等。其他相应的配套系统,诸如真空,进样和电子系统,虽然各厂家设计各有特色,但差别不大。下面我们以英 Third, the structure of the instrument and the main annex A spectrometer in order to complete the required analytical tasks, you must have the excitation source, sample chamber, energy analyzer and detector these parts, and the corresponding supporting system. Only different spectrometer in the choice of excitation source, the analyzer, the detector is different. There are three kinds of excitation sources: X-ray, ultraviolet light and electron gun. The analyzer has two kinds of magnetic and electrostatic type. There are many types of electrostatic type, such as whole ball, hemisphere, ball fan, cylinder and ball grid. The detector has multiple flat-plate electron multipliers and trumpet-shaped spiral slot electron multipliers. Other corresponding supporting systems, such as vacuum, injection and electronic systems, although the design of various manufacturers have their own characteristics, but not very different. Here we are British
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