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继2013年获得纯度高达99．9998％的硅后，美国国家标准与技术研究院的研究人员采用较为简单的方法，生产出了^28Si含量达99．9999％以上的超纯度硅，仅有不到10^-6为不确定的同位素^29Si，再次刷新了硅纯度的世界纪录。
99．9999％超高纯度硅为量子计算铺路
【摘 要】
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继2013年获得纯度高达99．9998％的硅后，美国国家标准与技术研究院的研究人员采用较为简单的方法，生产出了^28Si含量达99．9999％以上的超纯度硅，仅有不到10^-6为不确定的同位素^29Si，再
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2014年12期
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