激光干涉数字化角度计量系统分析

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通过对数字干涉测角系统的组成、原理、误差、精度等方面的阐述与分析介绍了一种新型的精密角度测量系统.该系统是基于激光干涉技术的一种角度测量系统 ,系统以激光作为干涉光源,迈克耳逊干涉仪作为角度量测量的核心装置,通过机械装置将角度(角位移)量转换为迈克耳逊干涉仪干涉光路中可反映光程差变化的线位移量,进而反映为干涉条纹的变化,最后通过有关电路对干涉条纹进行的一系列处理,实现了对大转角的精密测量.还就上述有关问题用计算机模拟的方法作了定量分析.
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