【摘 要】
：
We investigate the effect of cations with different valences on the chemical mechanical polishing (CMP) of silicon dioxide films.The removal rate and surface ro
【机 构】
：
State Key Laboratory of Functional Materials for Informatics, Shanghai Institute of Microsystem and
论文部分内容阅读
We investigate the effect of cations with different valences on the chemical mechanical polishing (CMP) of silicon dioxide films.The removal rate and surface roughness of the silicon-dioxide-film post-CMP are checked for the silica-based slurry with different cation salts (NaGl,CaCl2,AlCl3).Meanwhile,the particle size and size distribution of the slurries are characterized to test their lifetimes.The result shows that the three kinds of salts can improve the polishing removal rate from around 20 nm/min to 120 nm/min without affecting the surface roughness when the polishing slurry is stable.With increasing valence of cations,the polishing slurry requires less cation concentration to be added to improve the removal rate,while keeping a superior surface topography and maintaining a longer lifetime as well.
其他文献
We study the exclusive semileptonic and nonleptonic decays of the first radial excited heavy-light pseudoscalars Dq(2S) and Bq(2S) (q =u,d,s) with the improved
荷兰的马铃薯种植业是高度集约化生产,播种面积仅次于禾谷类作物居第二位,约占全国农作物总播种面积的25％,马铃薯栽培主要指标变动情况如表。由于气候温和、广泛实行集约化,
摘要：随着科技发展和生活水平的不断提高，人们的健康意识也在不断提升，医疗资源不足等问题的暴露使家庭监护产品的出现和发展成为必然。为了充分发挥心电实时监护的特点，本文将详细介绍一种基于蓝牙通信协议的无线通信，将心电信号传输到PC端的监护系统的总体设计和主要原理，并对整体系统进行总结、展望其发展前景。 关键词：蓝牙；心电监护；BM101 1 选题背景 现代生活的压力越来越大，人们的生活节奏也越来
摘要：隧道系统模式的准确性是形成隧道送气、排烟气流的基础，也是意外灾害出现时人员疏散的安全保障。针对传统隧道通风系统模式核对工作中存在的弊端，有创新性地将EXCEL软件应用于隧道通风系统模式核对工作中，通过软件内置图表功能与宏编程语言（VisualBasicforApplications，VBA），有效地将隧道通风系统设计图与隧道通风系统运行模式控制表结合起来，从而实现隧道通风系统模式的可视化核对
A solution-processed bulk heterojunction photovoltaic cell is fabricated based on poly[(2-methoxy,5-octoxy)-1,4-phenylenevinylene](MOPPV)-single walled carbon n
摘要：现阶段随着我国科技水平的不断提高，我国的经济也在快速发展，人们的生活水平也在不断提高，人们在追求物质生活的同时，也在不断注重精神文化生活。而广播电视通信给人们的生活带来更多的便捷，且在生活中的用途越来越广泛，但是随着广播电视通信技术的不断发展，其中也不断出现各种问题，尤其是噪声问题，给人们的生活带来了一定的困扰。因此，本文主要针对卫星广播电视通信系统中的噪声问题进行深入的分析，以不断完善卫星
摘要：CFD技术作为一种流体动力学技术，在化工机械设计、轻工业机械设计等诸多领域都有着广泛的应用。运用CFD技术对化工机械进行设计，尤其是流体机械的设计，可以有效提高机械设计的精度和计算模型的有效性。本文重点探讨了CFD技术相关内容，并对其在化工机械设计中的应用进行了相应分析。 关键词：CFD技术；化工机械设计；应用 经济全球化的逐渐推进与深入推动化工机械制造行业取得了快速的发展，使化工机械应
建筑节能已经成了举国上下共同关注的焦点,如何做到建筑节能?以下将谈及两点节能建筑的施工控制,以供大家共同探讨学习。
Building energy efficiency has become the focus
Oxide spinels have potential applications in optoelectronics and optics fields.In this work the electronic band structure and optical properties of GeMg2O4 and
摘要：对技工院校来说，加强信息化建设工作具有多种意义，一方面能使院校的现代化管理水平得到有效提升；另一方面能为教学信息化的实现提供保障，进一步提升技工院校的教学质量。本文从技工院校信息化建设的重要性及现状出发，对新形势下技工院校信息化建设的强化策略进行探讨，以期为技工院校信息化的全面实现提供一些有价值的参考建议。 关键词：新形势；技工院校；信息化建设 21世纪是网络时代与信息时代发展的潮流及主