【摘 要】
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本文介绍了用Si_2H_6沉积a-Si∶H膜的方法,讨论了工艺参数对膜质量的影响。还介绍了用空芯阴极法合成Si_2H_6的新技术。
This paper introduces the method of depositing a
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本文介绍了用Si_2H_6沉积a-Si∶H膜的方法,讨论了工艺参数对膜质量的影响。还介绍了用空芯阴极法合成Si_2H_6的新技术。
This paper introduces the method of depositing a-Si: H film with Si_2H_6, and discusses the influence of process parameters on film quality. The new technology of synthesizing Si_2H_6 with hollow cathode was also introduced.
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