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建立了一种利用双光子聚合技术快速制备三维微结构的方法，并对加工分辨率进行了研究。通过对高速扫描原理的研究，提出了采用二维振镜与一维压电微移动台相结合，利用跳跃和扫描协同的运动模式，以段段扫描方式进行三维微结构加工的系统来提高其加工速度。实验制备千里马和具有木堆结构的三维光子晶体结构说明，采用上述扫描方式可使其加工速度较点点扫描方式提高10倍至1000倍。实验结果表明，使用一定的激光功率时，其加工分辨率随曝光时间减小而显著提高，实验得到了50nm的线宽分辨率，超过文献报道的100nm的最高值。研究还表明，上