【摘 要】
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由中国科学院微电子研究所与长江存储科技有限责任公司联合承担的3DNAND存储器研发项目取得新进展。研究人员研制的32层3DNAND芯片通过了电学特性等各项测试，性能指标达到了预
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由中国科学院微电子研究所与长江存储科技有限责任公司联合承担的3DNAND存储器研发项目取得新进展。研究人员研制的32层3DNAND芯片通过了电学特性等各项测试，性能指标达到了预期要求。3D NAND是新型半导体存储技术，通过增加存储叠层实现存储密度的增加，从而拓宽了存储技术的发展空间，但其结构的高度复杂性给工艺制造带来了挑战。
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