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本文主要阐述了标准物质SiO<sub>2</sub>的制备与研究以及用AES测定其界面宽度时的各种影响因素。文献综述了三种界面宽度的计算方法和修正因子,并指出了各自的优缺点。
电子能谱二氧化硅标准物质的研制
【摘 要】
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本文主要阐述了标准物质SiO<sub>2</sub>的制备与研究以及用AES测定其界面宽度时的各种影响因素。文献综述了三种界面宽度的计算方法和修正因子,并指出了各自的优缺点。
【机 构】
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上海测试技术研究所,上海测试技术研究所
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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1990年6期
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