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本文针对三氯氢硅生产工艺中存在的问题，提出了具体的整改措施，并阐述了方案实施后取得的良好经济效益和环境效益。
三氯氢硅生产工艺的优化
【摘 要】
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本文针对三氯氢硅生产工艺中存在的问题，提出了具体的整改措施，并阐述了方案实施后取得的良好经济效益和环境效益。
【机 构】
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唐山三孚硅业股份有限公司
【出 处】
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中国新技术新产品
【发表日期】
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2015年21期
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