仿真研究推进纳米光刻工艺的升级

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纳米技术是指在纳米尺度(通常指1~100纳米)范围内,对材料的性质和应用进行研究的技术.此项技术的出现,使人类对自然的认识和改造进入到了一个新的层次,不仅对工业领域产生了革命性的影响,同时也是科学技术发展水平的重要标志.如今,纳米技术的应用已经深入人们的日常生活,我们平时使用的计算机芯片以及各种电子产品的制造都离不开纳米技术.rn纳米光刻技术rn纳米光刻技术是一种利用光刻手段在物体上制作纳米量级图形的加工方法,目前是集成电路制造领域的主流纳米加工技术.虽然传统的光刻工艺可以满足一定的生产需求,但它却存在着诸多局限性:首先,光学衍射效应会降低分辨率,在一定程度上影响产品的质量;其次,较低的生产效率和高昂的生产成本也是制约相关产业发展的重要因素.
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