【摘 要】
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干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。采用泰曼-格林型干涉系统,建立被测物与干涉相位之间的数学模型,通过MATLAB软件,实现对被测参数的自动化测量。基于二维快速傅里叶方
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干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。采用泰曼-格林型干涉系统,建立被测物与干涉相位之间的数学模型,通过MATLAB软件,实现对被测参数的自动化测量。基于二维快速傅里叶方法的基本原理,提出一种新的相位解包算法——菱形种子算法,通过识别1个种子点,然后依次向相邻4点扩展,再把这4个点作为第二批种子点,依次向各自的4点邻域扩展,以菱形轨迹遍历所有的有效信息点,以到达整幅图像相位解包的目的。采用该算法测量薄膜样片的厚度,测试结果与ZYGO测试结果比较,PV误差为0.036 4λ,RMS最大误差为0.003λ,证
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