论文部分内容阅读
介绍了化学液相淀积法制备氧化物薄膜的工艺过程及其在集成电路生产中的应用,并报道了一些最新研究成果.
集成电路薄膜工艺的新进展——化学液相淀积
【摘 要】
：
介绍了化学液相淀积法制备氧化物薄膜的工艺过程及其在集成电路生产中的应用,并报道了一些最新研究成果.
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室,山东大学外国语学院
【出 处】
：
材料导报
【发表日期】
：
2003年10期
其他文献
党的十七大已胜利闭幕，十七大关于科学、持续、和谐地发展的精神，对我校的发展有着很好的指引作用。目前，我校已升格为高等幼儿师范学校，学校的课程建设、师资队伍建设、教学方法
“一课二磨”活动，顾名思义就是同一个活动上两次。这也是我园在教科研方面尝试的新的方法。由一位老师上公开课，其他教师集体听课，然后大家一起评课、讨论、出谋划策，提出修改方
军工需求历来是新材料发展的强大推动力。满足国防建设需要应该是我国新材料的一个重要任务。该文综述了国外军用材料应用现状及发展趋势,应该对我国的材料科技工作者有所启
我园从03年开始研究、实践英语教学，并且通过三年的努力，整理出一套适合我园幼儿的生活英语教材。作为英语实验班，笔者将整个班级作为一个剧组，让幼儿作为英语教学的主角，在游戏活
综述了微波合成发光材料.从微波合成法原理、优点等总结了其不同于传统合成方法之处,并举例说明了利用微波加热合成的发光材料的结构性能和光学性能,从而说明微波合成法是一
从我担任06（1）班的班主任至现在，仿佛只是转眼之间，一个半学期已经过去了，当初硬着头皮仓促上阵的我已经对班主任这个工作产生了很深的感情，那些与同学们共度的，给我感动和力量的一
黄河凌汛灾害是黄河下游严重的自然灾害之一，历史上曾以频繁决口、难以防治而著名。黄河下游河道上宽下窄，弯曲连绵，险工、控导交错对峙，容易形成冰塞、冰坝的河段较多。人民治黄
用巨磁电阻(GMR)材料构成的磁电子学新器件,已开始在计算机存储领域成功地获得了应用.介绍了用于计算机硬磁盘驱动器的巨磁电阻磁头和巨磁电阻随机存储存储器,描述了它们的工
系统阐述了纳米NiO薄膜的制备方法，比较了各种方法的优缺点，并简述了纳米NiO薄膜在应用方面的最新研究进展。