TiO2表面致密包覆SiO2膜研究

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采用液相化学沉积法在TiO2表面包覆水合SiO2膜.利用SEM、FT-IR、EDS及TEM等测试方法对TiO2包硅样品进行表征,研究了包覆过程的温度、pH值、硅包覆量等对包硅效果的影响.结果表明:水合SiO2包覆膜与TiO2表面具有Ti-O-Si键,形成化学键合.控制硅包膜条件为pH=10、硅添加量3%、陈化时间为3h及温度为80℃时,TiO2表面水合SiO2包覆膜致密、均匀、表面光洁,随着包膜温度的升高膜的致密性和光滑度提高,高分辨率透射电镜照片显示包覆膜的厚度约为3nm,与理论计算膜厚一致.
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