蓝宝石衬底表面的高精密加工工艺

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yoyo88420

【摘要】

：

为了获得优化的CMP参数变化,对实验进行了设计,并采用CMP方法在C6382I-W/YJ单面抛光机上对蓝宝石衬底表面进行了加工.根据蓝宝石衬底特性,选择了碱性抛光液,并选用SiO2胶体作

【作者】

：

牛新环檀柏梅赵晓宏刘玉岭

【机构】

：

河北工业大学信息工程学院

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2007年z1期

【关键词】

：

蓝宝石衬底高精密加工化学机械抛光碱性抛光液工艺

【基金项目】

：

天津市自然科学基金(批准号:043801211),高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20050080007)和国家自然科学基金(批准号:10676008)资助项目Project supported by the Tianjin Natural Science Foundation (No. 043801211),the Specialized Research Fund for the Do

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

为了获得优化的CMP参数变化,对实验进行了设计,并采用CMP方法在C6382I-W/YJ单面抛光机上对蓝宝石衬底表面进行了加工.根据蓝宝石衬底特性,选择了碱性抛光液,并选用SiO2胶体作为磨料.依据高去除的目的,对如底盘转速、抛光液流量、温度及压力等不同工艺参数进行了研究.根据实验结果,确定了蓝宝石衬底表面的CMP最佳工艺参数.

其他文献

一种用于有线接收机的宽带高线性度的下变频混频器

分析了一种宽带高线性度的用于有线接收机的下变频混频器.该设计采用0.35μm SiGe BiCMOS工艺.射频输入信号频率范围设计为1～1.8GHz,测得的1dB压缩点达到＋14.23dBm,最大转换增

期刊

BICMOS宽带线性度下变频混频器SIGEBiCMOS wide band linearity down conversion mixer SiGe

C^＋注入a-SiNx：H的原子化学键合的研究

常温下对低压化学气相沉积制备的纳米硅镶嵌结构的a-SiNx：H薄膜进行C^＋注入，能量为30keV，剂量为2×10^17cm^-2．对C＋注入的SiNx薄膜在800℃的温度下，进行2h的常规炉退火处理．通过X

期刊

C^+注入SICNXPS高温退火X-ray photoelectron spectroscopy C^＋ implantation thermal ann

江苏常熟国家农业科技园区正式成立

近日，江苏常熟国家农业科技同区揭牌仪式暨第三届农业科技成果洽谈会在常熟市举行。国家科技部农村中心副主任蒋丹平，省科技厅副厅长李奇，省农委副主任蔡恒出席活动。

期刊

农业科技园区常熟市江苏农业科技成果国家科技部揭牌仪式副主任科技厅

无线局域网DCF饱和吞吐量建模教学设计

无线局域网分布式接入协议（DCF）是＂通信网络＂课程教学的重点。本文提出的教学设计采用理论分析与仿真验证相结合的方法,深入讲解无线局域网DCF协议饱和吞吐量的二维马尔可夫链模

期刊

无线局域网DCF协议饱和吞吐量马尔可夫链Wireless local area networksDCF protocolSaturation throu

用系统的方法进行单片机课程教学的探讨

面对应用型本科电类专业学生在单片机课程学习中存在的问题,本文按系统的观点与方法,把单片机课程内容按最小系统、片外资源和指令系统以及项目等划分为相互关联的模块。整个

期刊

系统方法单片机理念实践system methods MCU idea practice

“表皮再生法”快速治愈白癜风

“表皮再生法”快速治愈白癜风我院引进获得国家专利的先进设备、采用“表皮再生法”治疗白癜风，此法属９０年代的高新医科技术，在治疗白癜风等色素，缺失性皮肤病方面达到国际领先水

期刊

表皮再生白癜风治疗作用机理皮肤病色素细胞临床验证郑州城治愈率迅速恢复郑州市

200K高特征温度的1．3μm AlInGaAs应变单量子阱激光器

在20-80℃范围内连续工作条件下,非对称波导层结构的1.3μm AlInGaAs/AlInAs单量子阱激光器的特征温度为200K,这是目前国内报道的相同有源材料、相同发射波长的激光器中最高

期刊

半导体激光器AlInGaAs特征温度阔值电流非对称波导层semiconductor LDs AllnGaAs characteristic tempe

平行双回线电流平衡保护的仿真研究

平行双回线路电流平衡保护具有不需要通道、不需要PT输入的优点。文章提出了适用于高压平行双回线的电流平衡保护方案,首先仿真分析了基于全量、故障分量、零序分量的电流平

期刊

电力系统平行双回线电流平衡保护相继动作区灵敏度power system double-circuit transmission lines curre

基于电气工程专业的ARM嵌入式系统教学研究

电力系统实时测控装置已越来越多地使用ARM作为主处理器。本文阐述了基于ARM的嵌入式系统教学研究的迫切性，给出了ARM的嵌入式系统教学内容及实验内容的介绍以及ARM处理器芯片

期刊

电力系统ARM教学研究power system ARM teaching research

辽宁省：深化科特派工作培养农民科技创业大军

近年来,辽宁结合科技特派团和科技特派组进行的“一县一业”、“一乡一品”农业区域特色产业基地建设,开展了农民技术员培养工程,选拔有一定实践经验的农民进入沈阳农业大学

期刊

科特派特派团专业技术培训区域特色产业一品农业区域培养工程沈阳农业大学特色主导产业农业特色产业

蓝宝石衬底表面的高精密加工工艺

与本文相关的学术论文