MOS集成电路生产过程中防静电的讨论

来源 :半导体杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guoyh

【摘要】

：

本文介绍了ＭＯＳ集成电路的静电击穿机理，提出了在ＭＯＳ集成电路生产过程中的一些防静电措施。

【作者】

：

潘广问

【机构】

：

襄樊大学物理教研室

【出处】

：

半导体杂志

【发表日期】

：

1996年3期

【关键词】

：

静电击穿防静电 MOS集成电路 Static puncture Protection from static

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文介绍了ＭＯＳ集成电路的静电击穿机理，提出了在ＭＯＳ集成电路生产过程中的一些防静电措施。

其他文献

分流组合模挤压铝合金口琴管的数值模拟

采用刚粘塑性有限元法,在DEFORM-3D有限元商业软件上成功实现了铝合金口琴管分流组合模挤压过程的三维数值模拟,获得了分流组合模挤压过程中材料的流动规律,挤压力、应力场、

期刊

口琴管挤压分流组合模数值模拟harmonica-shaped tubeextrusionporthole dienumerical simulation

多孔硅制备工艺的研究

多孔硅的发光性能与其制备工艺密切相关，本文着重讨论了阳极氧化技术、表面再处理、硅衬底的电学性质等因素对多孔硅质量的影响，给出了合适的工艺条件。

期刊

多孔硅阳极氧化光致发光工艺制备

湿发速干器：快干毛巾梳

冬天洗头是件麻烦事，尤其是对于长头发的女生来说。美国推出了一款QuikStyle快干毛巾梳，毛巾与梳子的结合体，用它梳头发能够决速弄干头发。它通过具有抗菌功能的纤维，在梳开湿头

期刊

毛巾快干抗菌功能头发结合体吹风机梳子洗头

甲硝唑皮科新用

甲硝唑(灭滴灵)原本是治疗阴道滴虫病的一种药物.近年来发现,甲硝唑除了用于治疗口腔尤其是牙齿的厌氧菌感染有特殊效果外,在皮肤科也有着广泛的新用途.

期刊

甲硝唑皮科阴道滴虫病酒渣鼻

半导体晶体生长过程中描述热平衡的喀喇氏温度定理的推演

本文对适于半导体生长的固相，液相，气相的热平衡系统的喀喇氏温度定理作了进一步更严格的证明。

期刊

均匀系温度平衡系半导体晶体生长热平衡

为什么苹果需要冷藏才能保持色香味？

植物除了光合作用外，还有呼吸作用，而呼吸作用会消耗植物体内养分。苹果被摘下来后依然会呼吸，如果不限制呼吸，其营养成分就会大量耗尽，色香味也随之受到影响。冷库一般阴凉干燥、光线极暗，而且在苹果的各层包装袋上均匀地布满通气小孔，能很好地降低苹果呼吸、保存苹果养分。冷藏时，果心温度需要24个小时内降低到-1℃，整个储藏期间冷库必须恒定在-1℃～1℃。　　竹子为什么长不粗？　　一般树木在树皮与木质部之间有

期刊

色香味储藏期体内养分营养成分呼吸作用

三端电压控制型负阻器件（5）

<正> 4.3 LBT 的一般设计考虑和实验与理论的比较依照以上精确模型所给出的有关公式,LBT 的一般设计程序如下。在直流设计方面主要考虑三个特性参数,即:V_P,I_P,和 V_V,对于

期刊

三端电压控制型负阻器件负阻器件双极晶体管

司法经验整合及其抽象化问题——从私人背景步入公共领域的法官经验

司法经验本身强调的不是个体的独特性，而是与群体不可分割的整体性。在司法实践中，现有非正式的“内部请示报批”和“执行规范性文件”制度共同构成了我国独特的司法经验整体化

期刊

司法经验整体化抽象化judicial experience integration abstraction

超强神经网络系统：人脸模糊照片也可识别

照片上的人脸打上马赛克就无法辨认身份了吗？答案是否定的。德国的研究人员开发了一种超强神经网络系统，即使是模糊的人脸也能被识别。