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在扫描电镜中安装背散射电子衍射装置并接收分析材料的晶体学信息,是80年代末兴起的一种技术,用该技术可以做多方面的工作可以顺利解决X射线衍射和透射电镜电子衍射无法解决或难于解决的问题.北京有色金属研究总院在国家科技部的支持下,成功地研制了扫描电镜背散射衍射接收和分析装置.
扫描电镜EBSD装置
【摘 要】
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在扫描电镜中安装背散射电子衍射装置并接收分析材料的晶体学信息,是80年代末兴起的一种技术,用该技术可以做多方面的工作可以顺利解决X射线衍射和透射电镜电子衍射无法解决
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2005年4期
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