显微激光拉曼光谱法鉴别SiC晶体的多型体结构

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lau_lfm

【摘要】

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利用显微激光拉曼光谱法对掺氮6H-SiC单晶中的寄生多型体进行了鉴别,结果表明其中有4H-SiC和15R-SiC两种寄生多型体.不同SiC多型体的纵光学声子与等离子体激元的耦合模(LOPC

【作者】

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韩荣江王继扬徐现刚胡小波董捷李现祥李

【机构】

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山东大学晶体材料国家重点实验室,山东大学晶体材料国家重点实验室

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

掺氮 6H-SIC 4H-SiC 耦合模 SIC晶体单晶等离子体型体声子激光拉曼光谱 micro-Raman spectroscopysilicon

【基金项目】

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国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金

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利用显微激光拉曼光谱法对掺氮6H-SiC单晶中的寄生多型体进行了鉴别,结果表明其中有4H-SiC和15R-SiC两种寄生多型体.不同SiC多型体的纵光学声子与等离子体激元的耦合模(LOPC模)表明:在掺氮6H-SiC单晶的生长条件下,6H-SiC的掺氮效应与4H-SiC存在明显差别,而与15R-SiC的掺氮效应相似.

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