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微电子及纳米技术的发展,对纳米、亚微米尺寸计量及仪器的量值溯源的要求越来越高.文中就建立这一量值溯源体系进行探讨,包括:样板的研制、测量及比对、由仪器和测量方法引起差异的分析等,表明了建立纳米、亚微米尺寸计量量值溯源体系的重要性.
纳米、亚微米标准样板及SPM量值溯源
【摘 要】
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微电子及纳米技术的发展,对纳米、亚微米尺寸计量及仪器的量值溯源的要求越来越高.文中就建立这一量值溯源体系进行探讨,包括:样板的研制、测量及比对、由仪器和测量方法引起
【机 构】
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中国计量科学研究院
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2003年2期
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