新型高温压力传感器的设计与性能测试

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针对高温恶劣环境下对压力参数的测试需求,以单晶蓝宝石为原材料,对无线无源蓝宝石高温压力传感器进行了设计、工艺加工及性能测试.以压力膜片敏感原理为主要根据,结合不同的信号传输与提取方式,首先对LC谐振式的无线无源蓝宝石高温压力传感器进行了设计,然后通过蓝宝石刻蚀、蓝宝石减薄、直接键合等3个关键工艺实现了蓝宝石密封压力腔的制备,利用丝网印刷工艺实现了电容极板、电感线圈与基底的金属化集成.最后通过搭建的高温-压力复合测试系统对制备的无线无源蓝宝石高温压力传感器进行了高温环境下的性能测试.测试结果表明:制备的高温压力传感器能够实现800℃高温环境下60~210 kP a范围内的压力测试,800℃下传感器的灵敏度与零点温度漂移系数可达10.377 kHz/kPa和0.0296 MHz/℃.
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再吸附现象是离子型稀土原地浸矿中浸取率的主要影响因素之一,其可以分为随着液体渗流在矿体下部再吸附和因为毛细作用在矿体上不再吸附两个部分.矿体下部的再吸附已有很多的研究,主要通过浸矿剂用量的多少来解决,而针对毛细上升作用引起的上部再吸附研究相对较少.本文在已有单毛细上升模型的基础上,把土柱的等效孔径(R等)替换单毛细上升模型原本的孔径(R),让该模型可用于土壤多孔隙网络情况,对该模型进行修正.然后通过毛细上升实验,拟合R等与孔隙比(e)、10%的细颗粒直径(D10)和浸矿剂浓度(CNS)的函数关系.然后考虑
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