应力隔离法在蓝宝石压力传感器结构设计中的应用

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对硅一蓝宝石硅压力传感器C型弹性膜片接头结构和E型弹性膜片接头结构进行建模分析,优化设计应力隔离槽结构,并应用于硅-蓝宝石压力传感器一体化设计的弹性膜片与接头结构。较好地解决了硅-蓝宝石压力传感器的零点输出、满量程输出在不对称安装应力下产生偏移,影响传感器的测量精度的问题,使传感器的安全性、可靠性进一步提高,优化结构后的传感器在航天领域具有广泛的应用。
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