【摘 要】
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本文提出了一种高速往复运动机构重复定位精度测量技术，利用该项技术可以方便地测量出亚微米级的机构高速运动重复定位精度。本文论述了采用电涡流法测量的基本原理，解决了传感
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本文提出了一种高速往复运动机构重复定位精度测量技术，利用该项技术可以方便地测量出亚微米级的机构高速运动重复定位精度。本文论述了采用电涡流法测量的基本原理，解决了传感器设计与制造、测量电路设计和实验等一系列技术问题。本文为机械加工设备及各种动力机械的研究和生产提供了一种新的测试手段．
This paper presents a high-precision repetitive positioning mechanism for reciprocating motion measurement technology, the use of this technology can be easily measured sub-micron high-speed repeat positioning mechanism. This paper discusses the basic principles of measurement using eddy current method, solves a series of technical problems such as sensor design and manufacture, measurement circuit design and experiment. This paper provides a new test method for the research and production of mechanical processing equipment and various kinds of power machinery.
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