【摘 要】
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基于标准CMOS工艺,提出了一种高精度低功耗的温度传感器.通过采用高精度比例电流生成模块、纵向寄生的NPN型双极晶体管以及改进的输出端结构等措施,抑制了电路噪声、提高了温
【机 构】
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西安微电子技术研究所,西安理工大学自动化与信息工程学院
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基于标准CMOS工艺,提出了一种高精度低功耗的温度传感器.通过采用高精度比例电流生成模块、纵向寄生的NPN型双极晶体管以及改进的输出端结构等措施,抑制了电路噪声、提高了温度到电压的转换精度.基于55nm CMOS工艺,采用Spectre工具对电路进行仿真,结果表明:该温度传感器在-55℃~85℃内灵敏度为3.84 mV/℃,仿真精度为0.17℃,电路功耗为130μA.经过后端物理实现后,版图面积为325μm×64μm.采用STAR_RCXT对该电路提参后仿,得到后仿真精度为0.14℃/-0.24
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