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建立探测器响应函数模型，实现对测量X射线能谱的分析，可提高EDXRF技术中谱数据处理的自动化程度和计算精度。通过对X射线的探测物理过程进行分析，建立了一种Si-PIN探测器响应函数模型，该模型包括4部分：全能峰低能侧的连续平台、全能峰的高斯型主成分、高斯型的Si逃逸和全能峰低能侧的指数拖尾。模型形式简单。各部分物理意义明确。各参数用自行编制的基于加权最小二乘法的程序拟合得到。对19种单元素样品的特征X射线谱进行了拟合。计算得到相应的拟合优度因子在1．05—2．71范围内。表明该模型可以较好地表征Si-PI