【摘 要】
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微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一。微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内（尺度为毫米量级甚至更低）的等离子体，它通常能够运行在大气压条件下
【机 构】
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苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室,复旦大学现代物理研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:10305008)资助项目
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微等离子体已成为近年来国际上低温等离子体研究的热点课题之一。微等离子体是被限制在一个有限的空间范围内（尺度为毫米量级甚至更低）的等离子体，它通常能够运行在大气压条件下，它的低功耗、高密度、高稳定等特性以及其小巧、经济、便携等优势，为其在紫外光源的获得、微化学分析系统、生物医学、材料表面改性和加工、环境污染物的处理等领域提供了广泛的应用空间。文章对微等离子体及其应用进行了综述，介绍了各种微等离子体源的产生方法，以及它们在不同领域的研究和应用情况。
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