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本文作者通过热解聚碳苯的方法在单晶硅表面制备出了类金刚石薄膜,并且考察了这种薄膜的表面形貌,用电子扫描电镜观察.
聚合物热解制备类金刚石薄膜的表面形貌研究
【摘 要】
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本文作者通过热解聚碳苯的方法在单晶硅表面制备出了类金刚石薄膜,并且考察了这种薄膜的表面形貌,用电子扫描电镜观察.
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州)
【出 处】
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第二届全国扫描电子显微学会议
【发表日期】
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2003年11期
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