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为获得高功率高光束质量的激光器，对激光器中的热致球差进行了研究。介绍了高功率二极管泵浦Nd：YAG棒激光模块热致球差的测量和补偿方法。使用S-H波前探测器测量了激光模块的三阶球差，设计了补偿系统对激光模块的球差进行了补偿，并对补偿前后的各阶像差进行了分析。在主振功放（MOPA）系统中使用球差补偿系统，工作电流110A时，光束质量平方因子从9．2提高到6．4。实验结果表明球差补偿系统能消除激光模块的的三阶球差，而且不会引起其它像差的增大，提高了激光器光束质量。