【摘 要】
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<正> 摘自日文《金属》,1988年4月,临时增刊号 和扫描电子显微镜的原理相似,用聚焦的超声波束代替电子束,作为探针,根据试样的显微弹性性质,得到不同的超声信号,如果超声束在
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<正> 摘自日文《金属》,1988年4月,临时增刊号 和扫描电子显微镜的原理相似,用聚焦的超声波束代替电子束,作为探针,根据试样的显微弹性性质,得到不同的超声信号,如果超声束在试样上扫描,则能得到超声图像,这就是超声显微镜的基本原理。 超声显微镜(SAM)从结构上可分为透过型和反射型两种。透过型SAM是超声波探伤的发展,可用来检查IC基片固定时的接合状态,检查试样内部缺陷,也可观察生物组织和细胞活体。
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