论文部分内容阅读
一种基于光压和干涉的激励/探测方法可表征微电机械系统(MEMS)万向反射镜阵列的特性.这种全光技术除能精确地完成非接触式的工艺监控,也使远距离操作微光电机械系统成为可能.
用光学技术探测MEMS的性能
【摘 要】
：
一种基于光压和干涉的激励/探测方法可表征微电机械系统(MEMS)万向反射镜阵列的特性.这种全光技术除能精确地完成非接触式的工艺监控,也使远距离操作微光电机械系统成为可能.
【出 处】
：
光机电信息
【发表日期】
：
2004年3期
其他文献
目的探讨经皮肾镜钬激光碎石术后脓毒血症的发生原因和预防措施。方法 2007年1月至2015年12月,651例经皮肾镜钬激光碎石术后并脓毒血症6例,男2例,女4例,年龄32-58岁,平均45岁