【摘 要】
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追求更高制造精度一直是制造业的目标,制造精度的提高不但取决于机床、刀具和数控技术,而且取决于制造系统所采用测试手段所能达到的测量精度.在诸多非球面测量方案中,接触式
【机 构】
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厦门大学机电工程系厦门361005
【基金项目】
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国家863高科技资助项目(8638042416)
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追求更高制造精度一直是制造业的目标,制造精度的提高不但取决于机床、刀具和数控技术,而且取决于制造系统所采用测试手段所能达到的测量精度.在诸多非球面测量方案中,接触式光栅测量技术能够达到相对较高测量精度并具有广泛的适用范围.针对该技术在两个方面提出进一步的改进:第一,把原子力显微镜和用于位移精密测量全息光栅引入非球面制造系统,取代机械测头,以便对该系统所采用测试手段进行改进,进而提高该系统测量精度;原子力显微镜的工作模式采用轻敲模式.第二,全息光栅是光栅制造的最新发展,它的各种指标参数均优于刻划光栅,全息光
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