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本文介绍的干涉仪属于毫微米级测量仪，其分辨率为０．１ｎｍ（即０．０００１uｍ）。发展超精密加工工艺，很需要开发各种纳米级测量仪。
纳米激光偏振干涉仪
【摘 要】
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本文介绍的干涉仪属于毫微米级测量仪，其分辨率为０．１ｎｍ（即０．０００１uｍ）。发展超精密加工工艺，很需要开发各种纳米级测量仪。
【机 构】
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第一计量测试研究所
【出 处】
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机床
【发表日期】
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1989年6期
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