用红外光散射技术测量精加工表面粗糙度参数Ra

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本文用红外光散射技术,研究了国际上广泛使用的表面粗糙度参数算术平均偏差Ra与散射光强及其角分布统计参数间的相关性。研究表明:粗糙度的高度只影响光在空间的散布范围(高度小,光的散布范围大),不影响相邻散斑间的距离;粗糙度的间距不同时除影响光的散布范围外,还影响相邻散斑间的距离(间距小,散斑间的距离大)。对于很光滑的表面,大部分入射光反射至镜方向。当表面粗糙度增加时,镜方向光强减少;同时光的衍射增加,并且变得更散射了。在0°~180°范围内收集散射光时,光强角分布的方差D与Ra成正比关系;在小于180
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