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在半导体制造过程中存在着对小管径流体的流量监测问题，对同一种流量传感器，其监测的流体对象可能是不同的介质，趔声信号在这种情况下其幅值会有一定的不同，因而会影响测量精度。本文针对这种情况给出了一种使用数字电位器MCP42100的增益补偿方法以解决上述问题。
超声流量计中基于MCP42100的程控增益系统
【摘 要】
：
在半导体制造过程中存在着对小管径流体的流量监测问题，对同一种流量传感器，其监测的流体对象可能是不同的介质，趔声信号在这种情况下其幅值会有一定的不同，因而会影响测量精度。
【机 构】
：
西南科技大学
【出 处】
：
自动化技术与应用
【发表日期】
：
2012年12期
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