复杂微力—电系统的细微尺度力学

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现代高新技术的崛起,提出了大量新的经典力学所不能完全包容的力学问题,这将是现代应用力学发展的巨大动力,微电子技术中微电子材料,器件,系统和微电子-机械系统所组成的复杂微力-电系统,是跨世纪发展的新科技方向,本文简要介绍了复杂微力-电系统的工业技术背景和发展,综述了这一领域存在的力学问题,主要讨论细微尺度下的和学与破坏力学,并评介与展望了这一新的力学领域的研究善和发展趋势。
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