【摘 要】
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采用非本征法布里-珀罗干涉（EFPI）方案，设计了一种基于铬金复合金属薄膜的声波传感器，采用基于快速傅里叶变换的相位解调方法解调光纤端面和换能薄膜之间的白光干涉，提高了相位灵敏度。实验结果表明，传感器在声波频率5～1 000 Hz内，灵敏度保持在-119.98～-120.99 dB re 1 rad/μPa范围内，灵敏度变化小于1.01 dB,具有较宽的响应平坦区间；在频率150 Hz,声压0.1
【机 构】
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华中科技大学光学与电子信息学院光通信与光网络系
【基金项目】
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深圳市科技创新委员会项目（2021Szvup089）； 湖北省自然科学基金重点项目（2021CFA033）；
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采用非本征法布里-珀罗干涉（EFPI）方案，设计了一种基于铬金复合金属薄膜的声波传感器，采用基于快速傅里叶变换的相位解调方法解调光纤端面和换能薄膜之间的白光干涉，提高了相位灵敏度。实验结果表明，传感器在声波频率5～1 000 Hz内，灵敏度保持在-119.98～-120.99 dB re 1 rad/μPa范围内，灵敏度变化小于1.01 dB,具有较宽的响应平坦区间；在频率150 Hz,声压0.18～5.30 Pa的范围内工作稳定，且声压和相位之间具有良好的线性关系。
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