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针对半导体行业不支持SECS/GEM标准通讯协议的生产设备,提出一种基于文件解析的数据获取方案,解决设备状态监控数据源问题。此方法已经成功应用于半导体行业多种设备类型,满足了设备状态监控的基本需求。该方法同样适用于其他与半导体行业类似的生产制造业。
基于文件解析的设备状态数据采集
【摘 要】
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针对半导体行业不支持SECS/GEM标准通讯协议的生产设备,提出一种基于文件解析的数据获取方案,解决设备状态监控数据源问题。此方法已经成功应用于半导体行业多种设备类型,满
【机 构】
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南京电子器件研究所
【出 处】
：
信息技术与信息化
【发表日期】
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2018年12期
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