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平面集成光波导器件因其基体不同,其制造技术各异.国际信息业的发展以每年翻一番的速率将持续下去.我国的互联网业务发展相对国际要滞后一些,但也有相似的发展规律.Si基平面集成光波导器件与Si工艺兼容,是国内外热门研发领域之一.
平面集成光波导器件概况及市场分析
【摘 要】
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平面集成光波导器件因其基体不同,其制造技术各异.国际信息业的发展以每年翻一番的速率将持续下去.我国的互联网业务发展相对国际要滞后一些,但也有相似的发展规律.Si基平面
【机 构】
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中国电子科技集团公司
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2003年5期
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