【摘 要】
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针对高品质声体波微波（MBAW）器件的批量生产问题,研究了MBAW器件平面工艺路线的生产流程,选择蒸发底电极,溅射氧化锌,蒸发上电极及超声键合4个工序,应用统计过程控制（SPC）技术实
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针对高品质声体波微波（MBAW）器件的批量生产问题,研究了MBAW器件平面工艺路线的生产流程,选择蒸发底电极,溅射氧化锌,蒸发上电极及超声键合4个工序,应用统计过程控制（SPC）技术实施控制,确保MBAW器件在稳定受控状态下生产。本项应用不仅使这4个工序的工序能力指数（Cpk）得到提升,且MBAW器件的性能一致性和可靠性也得到明显提高,结果表明,几年来生产的MBAW器件没有再出现使用过程因质量问题的返退。
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