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本文详细阐述了１兆位电路接触孔／通孔全干法终点监控刻蚀工艺及后处理技术。扫描电镜分析表明，经该技术刻蚀后的接触孔／通孔底部条宽损失小于０．１μｍ，侧壁过渡平缓，有利于金属的覆盖。
1兆位电路接触孔/通孔的刻蚀研究
【摘 要】
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本文详细阐述了１兆位电路接触孔／通孔全干法终点监控刻蚀工艺及后处理技术。扫描电镜分析表明，经该技术刻蚀后的接触孔／通孔底部条宽损失小于０．１μｍ，侧壁过渡平缓，有利于金属的覆盖。
【机 构】
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中国华晶电子集团中央研究所二室
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1996年3期
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