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<正> 美国的ATMI公司已设立了日本法人,称之谓 日本法人ATMI japan。ATMI是一个具有2个部门的企业。在材料部门中包括薄膜形成材料、材料供给系统。潜在压力气体供给系统、高纯度材料容器系统、光刻材料以及CMP材料等的开发处理;在技术部门中,包括进行半导体工序的开发、改进,提
美国ATMI公司设立日本法人
【摘 要】
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<正> 美国的ATMI公司已设立了日本法人,称之谓 日本法人ATMI japan。ATMI是一个具有2个部门的企业。在材料部门中包括薄膜形成材料、材料供给系统。潜在压力气体供给系统、高
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2002年06期
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