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“十五”期间，“863”计划机器人主题项目成果丰硕。由哈工大研制的7项新型机器人项目，其中纳米超精密加工机器人，许多精密操作要求达到几个到几十纳米的精度，也就是相当于常人头发丝粗细的千分之一的操作精度。研究的一种利用单脉冲放电的微细电极快速制备技术，目前已实现100nm半径的针尖制作，该方法有望成为一种廉价，实用的探针制备手段。